光学显微系统	SEM	粗糙度计	形状测量激光显微系统 VK-X
不需要预处理	○	×	○	○
高清晰度超景深检查	×	○	×	○
颜色检查	○	×	×	○
3D尺寸测量 measurement	×	×	△	○

*与常见的光学显微系统、SEM和粗糙度计相比较。

光学显微镜 提升倍率后，难以对焦，分辨率不足。

SEM 前处理或样本尺寸等的准备烦琐，仅能以黑白色进行观察。

粗糙度仪 不能够实现一边放大观察，一边对工件部位实施非破坏性的凹凸测量。

光学显微镜
有限的分辨率和放大倍数 光盘坑 (6000 倍)		景深浅 刀尖 (1000 倍)		不支持可追溯性

高分辨率，大景深观察
高分辨率， 最大放大24000 倍 光盘坑（6000 倍）		完全聚焦的清晰图像 刀尖（1000 倍）		符合溯源性要求 使用 VK 系列获得的测量结果是高度可靠的测量数据，并且符合国家标准溯源性。

SEM
颜色不能确定，因为图像是黑色和白色 墨粉 (1000 倍)		准备与观察需要大量时间		样本大小是受限制的 由于受到样本的大小或者样本不适合在样品室等原因的影响，观察有时是不可能的。

仿佛彩色 SEM
16 bit 激光彩色观察 墨粉（1000 倍）		放置并且测量，您可以在几秒钟内进行分		各种样品的测量 可拆卸测量头单元允许各种尺寸的样品测量。可拆卸测量头单元可以与其他设备整合并支持远程操作。

粗糙度仪
由于接触探针造成样本刮伤 铝表面（200 倍） 在屏幕上水平凹槽。		难以测量目标 用触笔击中目标的理想位置可能会产生一些问题，例如目标为螺纹顶。		分辨率受限于触笔尖端直径 无法测量粗糙度小于测量仪器的触笔尖端的粗糙度的表面。

无损轮廓和粗糙度测量
非接触式设计，可用于测量软质的工件 / 方便定位测量区域			激光光束波长比表面粗糙度测量直径小 激光光束波长明显比粗糙度测量铁笔尖端小，它能够更精确地测量精细形状。

可运行所有表面形状测量
[剖面 ３D 测量] 高度· 宽度· 角度截面积测量
对测量屏幕上任意指定的直线或曲线的横截面轮廓，都可进行“高度”、“宽度”、“横截面”、“角度”、“R 值”等测量。
基板高度差高度·宽度测量（1000 倍）	微摄镜头 R 测量（1000 倍）

表面积· 体积测量
测量屏幕上任何指定区域的“体积”、“表面积”、“ 面积∶表面积之比”。
光学薄膜 (1000 倍)	太阳能电池表面积测量（1000 倍）

想要将表面状态的差异实现数值化

[可以精确测量线粗糙度和面粗糙度] 线粗糙度测量

可以一边观察2D 或3D 图像，一边避开顶点或异物，测量目标部位的粗糙度。

电子组件图形（1000 倍）

面粗糙度测量
从视觉上来讲存在差异，那么差异究竟有多大呢? 可以测量面的粗糙度，通过数值确认平均化后的差异。
（例）功能性薄膜的暗纹（3000 倍）
样本A: Ra 1.5 μm	样本B: Ra 3.2 μm

透明薄膜测量内置“独特的算法”

不仅实现膜厚测量﹐还可获取最表面和背面的形状。

可对观察视野整个区域执行多层分析。可对已选的各层或多层进行 3D 图像显示、横截面轮廓显示，可测量任意位置的形状、薄膜厚度。

想要一次性自动拍摄· 测量多个样本
[自动测量具备规则图形的工件] 自动宽度· 高度测量
对于具备规则图形的工件的宽度· 高度，按照设置条件自动测量。由于是自动测量，因此不会生成人员造成的误差，可以在短时间内完成测量。
光致抗蚀图形（6000倍）	光学薄膜（1000 倍）

全自动测量
谁都可以实现和熟练人员一样的测量
通过融入长年专有经验的 AI-Scan，仅需按下“ 测量开始”按钮，便能得到符合样本的最佳设置，实现全自动测量。
[世界首创] AI-Scan 3 个功能	单击测量开始按钮便可实现

1. AAG 功能
对受光组件的激光受光灵敏度运行 ２ 项最佳调整。对于有斜度的样本或混合存在明暗的样本也可正确测量。 * AAG = Advanced Auto Gain
传统方式		AAG 功能
		金刚石工具（400 倍）

2. 自动上下限设置
对于样本的上下限在整个画面区域实现自动识别和设置，在上下限范围之内运行扫描和测量。
镜头自动扫描		识别画面内的上下限, 自动设置为测量范围。

3. 双扫描功能
识别到未有效拍摄的部分时，会自动改变设置，运行二次拍摄，获取正确的数据。
单扫描时		双扫描后
		焊锡（200 倍）

广视野的测量

通过 WIDE-Scan 简单 · 高速地实现广视野的测量

课题 1

视野狭窄的话，无法明确正在观察哪个部位。还想观察周围。

	使用 WIDE 的话则可一目了然，不会发生测量部位的错误。 想要提升倍率实现高精度的观察· 测量时，有时会因视野狭窄而不明白正在观察哪个部位。按照对应目标分辨率的倍率使用 WIDE-Scan 的话，则可简单地获取到广视野的高分辨率 3D 图像。之后对观察部位也可做到一目了然。

课题 2

关于局部性的测量，会因拍摄部位不同而使数据生成偏差。

	使用 WIDE 的话，则可一次性测量多个部位并实施平均化处理。 测量数量少的部位时，会因选择不同部位使数值生成偏差。使用 WIDE-Scan 的话，则可简单获取到广视野的高分辨率 3D 图像。能够轻松地测量多个部位，并实施平均化处理，使最终判断不会受到选择部位的影响。