VK-X 3D 激光扫描显微系统
VK-X 系列 3D 激光扫描显微系统扩展了激光显微镜的功能。我们的激光扫描显微系统兼具光学显微镜、粗糙度仪、激光轮廓仪和扫描电子显微系统的特性,无需进行样品准备即可对表面轮廓、表面粗糙度和厚度进行非接触式测量。通过使用激光扫描目标,该系统可对几乎任何材料生成分辨率极高的完全对焦图像。主要特性
- 非接触式 2D + 3D 测量
- 测量样品的表面形状且不会损坏样品
- 0.5 nm Z 轴测量分辨率
- 可在几乎任何材料上进行高分辨率测量
- 描绘多角表面的特征
- 在具有不规则表面的目标上进行精确轮廓和粗糙度测量
- 类似于 SEM 的分辨率与景深
- 完全对焦的彩色图像
- 厚度测量
- 从透明材料的顶层与底层收集表面数据
- 无需样品准备
- 只需将您的目标放在显微系统载物台上
- 简单模式
- 只需点击鼠标即可测量目标
- 宏程序与连结程序
- 执行图像连接与自动测量的可编程 XY 载物台













