可在几乎任何材料上进行非接触式轮廓测量和粗糙度测量

VK-X 3D 激光扫描显微系统

VK-X 系列 3D 激光扫描显微系统扩展了激光显微镜的功能。我们的激光扫描显微系统兼具光学显微镜、粗糙度仪、激光轮廓仪和扫描电子显微系统的特性,无需进行样品准备即可对表面轮廓、表面粗糙度和厚度进行非接触式测量。通过使用激光扫描目标,该系统可对几乎任何材料生成分辨率极高的完全对焦图像。

主要特性

非接触式 2D + 3D 测量

非接触式 2D + 3D 测量
测量样品的表面形状且不会损坏样品

0.5 nm Z 轴测量分辨率

0.5 nm Z 轴测量分辨率
可在几乎任何材料上进行高分辨率测量

描绘多角表面的特征

描绘多角表面的特征
在具有不规则表面的目标上进行精确轮廓和粗糙度测量

类似于 SEM 的分辨率与景深

类似于 SEM 的分辨率与景深
完全对焦的彩色图像

厚度测量

厚度测量
从透明材料的顶层与底层收集表面数据

无需样品准备

无需样品准备
只需将您的目标放在显微系统载物台上

简单模式

简单模式
只需点击鼠标即可测量目标

宏程序与连结程序

宏程序与连结程序
执行图像连接与自动测量的可编程 XY 载物台

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VK-X 3D 激光扫描显微系统

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应用

半导体

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航天

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材料科学

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其他

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